安川機(jī)器人SEMISTAR-MR124

       適用于晶元搬運(yùn)SEMISTAR-M系列升級(jí)版，引領(lǐng)業(yè)界的高性能！供應(yīng)EFEM模塊全套設(shè)備。300枚/小時(shí)的高速搬運(yùn)。
       半導(dǎo)體晶片搬運(yùn)用機(jī)器人
       負(fù)載：-
       動(dòng)作范圍：1215mm
       控制柜：SR100
       用途：搬運(yùn)、半導(dǎo)體        安川機(jī)器人SEMISTAR-MR124特點(diǎn)及參數(shù)

       大動(dòng)作范圍：EFEM模塊移動(dòng)距離可達(dá)4套應(yīng)用設(shè)備，無(wú)需使用底架，極大地提高了搬運(yùn)效率。
       高速搬運(yùn)：300枚/小時(shí)
       適用：300mm-450mm晶片搬運(yùn)

       *1：本公司標(biāo)準(zhǔn)終端效應(yīng)器(300mm:邊緣把持/真空吸著,450mm:真空吸)
       *2：300mm晶體(SEMI規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)品),當(dāng)使用本公司標(biāo)準(zhǔn)300mm對(duì)應(yīng)終端校準(zhǔn)器時(shí)
       *3：機(jī)械臂回旋中心位置～晶體中心位置(本公司標(biāo)準(zhǔn)300mm對(duì)應(yīng)終端效應(yīng)器時(shí))
       *4：根據(jù)SEMI規(guī)格為基準(zhǔn)的晶體規(guī)格。特殊石英晶體請(qǐng)與我司聯(lián)系。石英晶體也可對(duì)應(yīng)（有業(yè)績(jī)）。但是根據(jù)石英規(guī)格，本公司需要進(jìn)行評(píng)價(jià)和調(diào)整。
       *5：在0.3m/s的流量下，機(jī)械臂進(jìn)行真空吸附