SuperViewW1白光表面干涉儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量。廣泛應用于如納米材料、航天、半導體等各類精密工件表面質量要求高的領域中，可以說只有3d非接觸式光學輪廓儀才能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。

產品特點
參數測量：粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積，一網打盡；
環境噪聲檢測：實時監測，納米波動，也無可藏匿；
雙重防撞保護：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石”也能安然無恙；
自動拼接：3軸光柵閉環反饋，讓3D拼接“天衣無縫”；
雙重振動隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動山搖，我自巋然不動”。

產品性能
縱向掃描：≤10.3mm，與選用物鏡相關
掃描幀速：50FPS/s
粗糙度重復性：0.005nm（依據ISO 25178-2012）
光學分辨率：0.4μm~3.7μm，與選用物鏡相關
至大點數：1048576（標準）
臺階測量：準確度≤0.3%，重復性≤0.08%1σ

SuperViewW1白光表面干涉儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。