性能特點(diǎn)

1、輪廓/粗糙度測(cè)量功能：

高到亞納米級(jí)的高度分辨率，在寬度、高度、角度、直徑等各類輪廓尺寸測(cè)量功能以及表征表面整體加工質(zhì)量的粗糙度等指標(biāo)；

2、自動(dòng)化測(cè)量功能：

自動(dòng)單區(qū)域測(cè)量/自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量/自動(dòng)拼接測(cè)量；

3、復(fù)合型掃描算法：

集合了PSI高精度&VSI大范圍雙重優(yōu)點(diǎn)的EPSI掃描算法，有效覆蓋從超光滑到粗糙等所有類型樣品，無(wú)須切換，操作便捷；

4、雙重防撞保護(hù)功能：

Z軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護(hù)功能，雙重保護(hù)，多一重安心；

5、環(huán)境噪聲檢測(cè)功能：

環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)功能能夠定量檢測(cè)儀器當(dāng)前所處環(huán)境的綜合噪聲數(shù)值，對(duì)儀器的調(diào)試、測(cè)試可靠性提供指導(dǎo)；

6、完善的售后服務(wù)體系：

設(shè)備故障遠(yuǎn)程&現(xiàn)場(chǎng)解決，軟件免費(fèi)升級(jí)。

SuperViewW1白光干涉儀檢測(cè)儀器對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。其重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。